对于生产出来的薄膜而言,在其诸多性能中,薄膜的厚度、均匀度是最关键的参数,它直接关系到生产成本、应用效果等重大问题。因此,监测、控制薄膜的厚度、均匀度,已经成为工业生产中重要的、不可或缺的一部分。
在众多类检测薄膜厚度的方法中,光学方法是应用最为广泛的方法之一。由于光学检测方法的非接触性、高灵敏度性、高精度性以及光学图像的二维计量性,使得它对比其他方法而言,具有快速、准确,不损伤薄膜的优点。
今天给大家介绍一种光学检测薄膜的仪器,大成精密的光学干涉测厚仪。该仪器广泛应用在各个行业的产品材料厚度测量中,在社会上广受欢迎。
一、典型应用
光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Mylar 膜、OCA光学胶、光阻等测量。 应用在涂胶工序时,该设备可放置于涂胶池后、烘箱前,在线测量涂胶的厚度;也可以在线测量离型膜涂布的厚度。其精度极高,应用甚广,尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。
二、测量原理
利用光入射不同界面发生反射和透射而产生干涉条纹的原理,测量被测物的厚度。
三、特点 1、在线实时扫描测量薄膜的厚度,实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势,帮助反馈调节生产设备,实现更稳定一致的生产 2、可输出横向纵向趋势图、最大值、最小值、极差、CPK等统计参数 3、高精密厚度测量,重复精度达0.4nm 4、可同时检测多层材料厚度 5、适用于光滑表面透明膜厚度测量 6、典型应用于:光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶 带、Mylar 膜、OCA光学胶、光阻等测量
四、设备参数 1、测量范围:0.1um~100um 2、测量精度:0.4% 3、测量重复性:±0.4nm 4、波长范围:380nm~1100 nm 5响应时间:5~500ms 6、测量光斑:1mm~30mm 7、动态扫描测量重复性:10nm
薄膜的厚度是否一致,能够影响到生产厂家的成本,以及产品的使用性。很多厂家都会用各种测量仪器来检测薄膜厚度,但总体来说,还是用光学干涉测厚仪来检测厚度比较好,因为它能够实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势,帮助反馈调节生产设备,实现更稳定一致的生产。
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